水泵M11使纯净水以每分钟130升的流量循环。去离子罐C1用于降低纯净水的电导率，纯净水电导率的报警值为0.5μS。变频器运行时纯净水温度的报警值为39℃，正常运行时温度保持在设定值32℃左右。三通阀的作用是通过调节经过水冷换热器E1的循环水流量，使纯净水的温度保持在32℃，同时保持循环水总流量不变。