电子开专票流程如下：1、申请开具电子专票：纳税人需要向主管税务机关提出申请，并提交相关材料，包括企业营业执照、税务登记证、组织机构代码证等。2、审核申请并发放开票设备及电子：税务机关会对纳税人提交的申请进行审核，审核通过后会向纳税人发放开票设备及电子。开票设备包括税控盘、金税盘等，用于开具和存储电子。3、开具电子并上传信息：纳税人使用开票设备开具电子，并通过电子服务平台将信息上传至税务机关。在开具电子时，需要按照规定的格式和要求填写相关信息，如购货方名称、税号、地址电话、开户行及账号等。