拆卸三角皮带，拆卸泵进出口管道和伴热蒸汽管线、氮气管线;拆卸地脚螺栓，把真空泵移到检修平台，打开泵顶部各级盖板，用塞尺从上盖板处插人测量转子和各级隔板的前后间隙，做好记录。最后，在真空泵上部的整个平面位置用记号笔，做好明显标记以免恢复时出错;标记清楚主动转子和从动转子的前后方位;拆卸真空泵的泵体连接螺栓，逐级从尾端拆卸，同时测量和记录各级隔板之间的纸垫厚度，直到完全解体。用酒精清洗干净真空泵各部件，结垢的部分可用纱纸清理;转子墙板和隔板拉毛的部分用锉刀修理平整，抛光机打磨光洁。