能谱仪EDS是一种用于分析物质元素的仪器，能谱仪展谱原理主要基于X射线的特性。在电子与物质相互作用时，采用能聚焦的入射电子可以激发出初级X射线，这些X射线的能量和波长取决于电子跃迁的能级差。当电子束入射到样品表面时，会激发出样品元素的特征X射线。