在冶金、化学、机械、电子和军事工业中，氮化硅陶瓷同样拥有广泛的应用。其烧成工艺通常采用硅粉预先成型，然后在通氮的情况下烧结而成（反应烧结法），或采用硅粉氮化反应合成氮化硅粉后热压而成（烧结法）。氮化硅膜可通过氯化硅-氨-氢等体系在特定温度下用气相沉积法形成，或利用射频溅射法生成。纳米氮化硅因其优异的化学稳定性和耐高温性能，在多个领域展现出更广泛的应用潜力。其机械性能和介电性能同样表现出色，包括高介电常数和高介电强度。作为一种重要的陶瓷材料，目前对其表面改性的主要方法是采用烧结助剂包覆氮化硅粉粒，提高烧结助剂在氮化硅浆料中的分散程度及浆料的流动性，从而提高陶瓷制品的烧结密度和性能稳定性。