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半导体后段是铜污染物吗【点击查看详情】
不是。半导体后段指的是半导体晶圆制造中的后工序,主要包括金属蒸镀、光刻、化学机械抛光等步骤,金属蒸镀和化学机械抛光过程中会使用带有铜污染物的化学物质。
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