2、镜圈或碟片脏，有浮点灰尘，在离子束作用下附着到了镜片上形成灰点层。膜内，不能擦除，会有点状脱膜。3、镜片上伞时就有灰尘点，上伞时没有检查挑选。膜内，不能擦除，会有点状脱膜。4、镀制完成后的环境污染是膜外灰点的主要成因，特别是当镜片热的时候，更容易吸附灰尘，而且难以擦除，膜外。5、真空室充气口环境脏、开始充气量过大、充气过滤器脏，充气时镜片温度过高也是造成镜片膜外灰尘点不良的原因，膜外。6、作业员人为带来的灰尘污染，膜内膜外。7、工作环境中灰尘过多。