半熔反应后若融块中有残炭颗粒，可能说明反应不完全或燃烧条件不佳。反应不完全可能是由于氧气供应不足，或者反应温度不够高，导致炭或石油焦颗粒无法完全燃烧。燃烧条件不佳可能是由于氧气供应量不足或不均匀，或者物料混合和均匀度不够好，导致部分颗粒无法充分接触到氧气而燃烧不完全。半熔反应是PVD技术的一种，这是一种针对高性能和大面积晶圆的涂层工艺。在半熔反应过程中，涂层材料被加热到熔化状态，然后与气相反应，形成固态薄膜。