高纯的。高温退火过程中使用的惰性气体是高纯度的，高纯度的惰性气体是指其中不含有明显的杂质或污染物的气体，这是因为在高温下，杂质或污染物与待处理材料发生反应，导致退火过程的效果不理想或产生质量问题。