1、根据X技术网查询显示，离子注入设备进行监测的常见方法是将裸晶圆置于离子注入设备中，对其进行离子注入。2、将离子注入后的裸晶圆移入快速热退火设备进行退火处理，最后，测量裸晶圆的电阻率和热波。