硅泥真空干燥用X射线衍射仪、电感耦合等离子体发射光谱仪等检测。电感耦合等离子体发射光谱仪的应用范围最广，常用于硅砂、硅粉、碳棒和焊料等材料的化学分析，也可以用于硅铝氧化物纯度的测定。此外，还可用来检测润湿剂中添加的各种元素含量，如硫、磷、氮、氧、氟和硅等。