1、液体进入泵体：液体进入真空泵，会导致泵体内部产生震动。这是由于泵的密封性能不佳或者系统中的液体量太大导致的。2、气体流量过大：气体流量超过了泵的额定流量，泵就会产生震动。这是由于系统中的气体流量过大或者泵的流量不足导致的。3、泵体不平衡：泵体内部的零件不平衡，也会导致泵体产生震动。这是由于泵内部的零件磨损或损坏导致的。