1、规模经济：随着光刻机需求的不断增加，大规模生产可以降低单位成本，提高生产效率，从而使企业更具竞争力。2、技术进步：光刻机的技术含量很高，其生产过程需要大量的研发和制造投入。3、市场整合：光刻机市场竞争激烈，大型化工厂可以更好地进行市场整合，通过收购、合并等手段，扩大市场份额，提高市场竞争力。4、综上所述，光刻机工厂大型化是真的。