明朝洪武元年改元代益都路为青州府，治所益都，即今青州市益都镇益都城。清初，青州府下辖益都、临淄、博兴、高苑、乐安、寿光、临朐、安丘、昌乐、诸城、沂水、日照、蒙阴等13县，并辖安东卫和沂州。雍正年间，设立沂州府，析出沂水、日照、蒙阴和安东卫归属之。同时，析出益都县的颜神镇和孝妇、怀德两乡，成立博山县。青州府仍辖11县。府署有知府、同知、通判等。初废青州府，设立胶东道，益都县隶属胶东道。1927年，废道，益都县直属于山东省管辖。