1、分馏方法为将硅烷通入热分解管中进行热分解后去除固体杂质，所述热分解的温度为200到500℃，所述热分解管的长度为0.5到3米，硅烷的流量为0.1到5L每分钟。2、冷却硅烷低温精馏除杂提纯能耗大，硅院气体的常压下冷凝温度为负112，低温精你时需要洞大星的能量，要除去硅烷中的微量杂质使其达到ppb级别或更低对精做塔要求很高，低温精馆工艺夏杂间时桂院遇空气易燃用康对任温清演的生产安全要求极高。