1、表面污染：在碳处理过程中，基板表面存在污染物质，如油脂、灰尘、氧化物等，这些污染物会阻碍电镀层的均匀沉积，导致出现抗镀物，可以对基板进行清洗和预处理，去除表面污染物和氧化物。2、碳层不均匀：碳层处理过程中出现不均匀涂覆，会导致部分区域碳层过厚或过薄，从而影响电镀层的沉积效果，产生抗镀物，可以控制碳处理工艺参数，确保碳层的均匀涂覆。