几十纳米到几百纳米。纳米压痕压入深度的正负值范围具体范围取决于多种因素，例如压痕仪的型号、测试材料的性质、压头类型和测试条件等，常在几十纳米到几百纳米不等。纳米压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。