1、使用真空计：可使用热阴极离子化真空计或腔内磁控溅射真空计等真空计来测量真空程度，这些真空计可以测量出从大气压到高真空范围内的压力。2、空气侵入法：该方法通过注入一定体积的气体进入真空腔室，观察气体的扩散速度或扩散光路的清晰度变化来推测真空程度。