70%。三氯硅烷在常温常压下为具有刺激性氯化氢气味易流动易挥发的无色透明液体，三氯氢硅爆炸极限：爆炸下限：6.9%，爆炸上限：70%。三氯氢硅又称三氯硅烷、硅氯仿，用作高分子有机硅化合物的原料。