1、热式原理：利用温度变化对应质量流量的原理，mfc气体流量控制器可以对不同气体进行流量测量及控制。2、差压式原理：利用流体在旋转的管内流动会对管壁产生一个力的原理，这个力与流体的质量流量成正比。3、科里奥利原理：流体在旋转的管内流动会产生科氏力，mfc气体流量控制器的传感器通过检测这个力的大小来测量流体的质量流量。