明日宇航的精密检验设备包括激光干涉仪、光谱仪等。激光干涉仪是一种用于精确测量长度和形状的光学仪器，适用于测量微小的机械变形和材料变形等。光谱仪则是用于分析物质的光谱性质的仪器，可以通过分析光谱来确定物质的成分、温度和速度等参数。