硅片表面局部的污染物没有被清洗干净，或者硅片表面局面被二次污染导致的。硅片表面局部区域有残留物，会造硅片表面有残留区域"金字塔"结构大小和均匀性生成与效果较正常区域有不足，从而造成有残留区域制绒表面反射率较正常区域高，反射率高的区域对比正常区域在视觉上体现为发白。