去离子水是指除去呈离子形式杂质后的纯水。如今的工艺主要采用RO反渗透的方法制取。应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，但水中仍然存在可溶性有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效。蒸馏水是指经过蒸馏、冷凝操作的水，蒸二次叫重蒸水，三次叫三蒸水。