（正文要求含下列所有标号的招标项目）

公司：

我校采取招标方式，采购有关仪器设备。现发出招标文书，贵公司若有意竞标，可选择下列标号的招标项目，按要求填写招标文件，加盖印章，

于2009年12月23日17时前，密封报达（寄达）我校，过时作弃标处理。要求：

1、交货期限：2009年12月30日前（或按合同要求）。

2、交货地点：扬州大学。

3、投标报价应包含：

= 1 \\* GB3 ① 仪器设备送达实验室费用及保险费用；

= 2 \\* GB3 ② 按要求进行安装调试所需费用；

= 3 \\* GB3 ③ 按规定应支付的税费；

= 4 \\* GB3 ④ 合同条款中所列的售后服务费用等。

4、付款方式：验收合格后付款。

5、售后服务：上门服务，响应时间在24小时以内。修复期不超过一周，超过一周仍不能修复，予以调换同型号新设备。

6、主机及附件：按原制造厂的标准、型号、规格及全套原装附件标配。具有产品合格证。

7、资质证明：参加我处招标的投标公司，须附下列资料：

= 1 \\* GB3 ① 、企业营业执照副本及复印件。

= 2 \\* GB3 ② 、法人代表身份证明或法定代表人对业务代表授权书。

= 3 \\* GB3 ③ 、企业基本情况介绍。

= 4 \\* GB3 ④ 、银行出具的资信证明。

= 5 \\* GB3 ⑤ 、企业资质证明、品牌代理销售证书

= 6 \\* GB3 ⑥ 、企业业绩。

8、收到标书后，有需要澄清的问题，请在投标截止日期前与我们联系。确定中标单位后通知具体签约时间。对未确定中标的单位不再另行通知。

9、投标公司请将所投标的不同编号的投标文书,在送(寄)件内分别封装，并在内封面分别注清各招标文书文号。因字迹不清,标号不明的标书不予受理。

10、工本费：本招标文件由投标单位自行购买，每份人民币贰佰元整，无论中标与否恕不退还；（如从邮局汇款请汇至：扬州大学实验室与设备管理处设备科）

①投标工本费应提前由银行汇至：扬州大学（本地：转帐支票；异地：银行汇票） 开户行：工行汶河支行 帐号：1108022009000002048

②在开标时，对于未按要求提交投标工本费的投标，将视其为非响应性投标而予以拒绝。

11、本标书确定中标项目后不得修改或拒签。违规投标商在一定时期内不受理所投标书，并没收其投标保证金。

12、中标的厂商在收到中标通知后，签订供货合同前需提交合同款的1%作为履约保证金，合同履行完毕不计利息退还。

特别提醒：请贵单位在银行或邮局汇款后将汇款回单及时传真到0514-********并注明招标编号。

----------------------------------------------------------------------------

扬州大学实验室与设备管理处设备科

地 址：扬州大学南路88号

联 系 人：杨曦、徐钟林 邮 编： 225009

电 话：0514-******** 传 真：0514—87979359

技术咨询：技术咨询：0514-********毛翔宇

2009年12月18日

(请投标公司按下列格式填写) 编号：YX09-12-44号

名 称型号规格数量货到验收合格付款总价厂家质保

时间球型脉冲激光淀积系统附后1三年合计（人民币）一、设备主要技术性能指标：

1. 真空室的结构形式及尺寸：

该设备系由一个球形真空室加带一个进样室组成的超高真空系统。在进样真空室的左侧通过CF100插板阀接装球形真空室；在进样真空室的右侧接装一套磁力样品传递机构。球形真空室采用一套FB1200+2XZ-8涡轮分子泵机组进行抽气；进样真空室的抽气采用主室一套机组进行旁抽。

1.1主沉积腔室为球形结构，内径Φ450，1Cr18Ni9Ti不锈钢制造。真空室上开出的法兰接口为：

基片样品台（加热样品炉）组件，接口CF150法兰1个，无氧铜圈密封。

四工位转靶组件，接口CF150法兰 1个，无氧铜密封。

激光入射窗口，相互垂直，接口CF63法兰 2个，无氧铜圈密封， 透过248nm石英窗。

顶面观察窗口，CF100法兰 1个，无氧铜圈密封。

侧面观察窗口 CF63法兰1个，无氧铜圈密封。

铰链活动开门，接口Φ200胶圈密封法兰1个。

分子泵抽气口，接口CF200法兰1个，无氧铜圈密封。

样品室接口，接口CF100法兰1个，无氧铜圈密封。

CF50接口法兰1个（备用）。

CF35接口法兰4个（烘烤、照明、规管及备用）。

CF16接口法兰2个（进气、充气阀门等用）。

KF16接口法兰1个（接热偶规管）。

1.2 进样室系将主室分开进行气份隔离与换样之用，真空室为卧式圆筒型，尺寸为Φ240×L380（mm），左侧用CF100闸板阀与主室相连接，右侧安装磁力样品传递机构，上面开出CF100法兰接管，其上安装可上下调节的样品库。前面开一Φ100的门，门上有窗。下面开出CF100法兰口安装CF100闸板阀，再接一Φ100抽气管道联到主真空室的泵口处。

2. 真空获得与测量：

2.1 球形真空室：

球形真空室采用一台TFB1200分子泵+2XZ-8D机械泵抽气

球形室极限真空：经24～36小时烘烤除气后达5×10-6Pa（须将球形室与样品室之间的闸板阀关闭）

抽气速率：从大气开始抽气，在≤40分钟内，该室真空度达6.6×10-4Pa

漏率：≤1×10-8Pa·L/S

2.2 进样室：

采用同一台FB1200分子泵+2XZ-8D机械泵机组抽气，并设置旁路抽气回路。在打开球形室与样品室之间的闸板阀之后，

进样室极限真空：经24小时烘烤除气后达3×10-4Pa（实际是球形室与样品室两个室的真空度）

抽气速

率：从大气开始抽气，在≤40分钟内，该室真空度达6.6×10-4Pa。

漏率：≤1×10-8Pa·L/S

3、 衬底加热台组件：

3.1 基片尺寸: 20×20mm 样品托：Φ50mm

3.2 基片加热，最高温度900℃±1℃，热电偶反馈，FP93表控温。

真空室内充氧气：采用铂金（Pt）丝加热，最高温度

900°±1℃，可控可调。

3.3 基片可连续回转,转速5～20转/分可调，直流调速电机控制。

3.4 基片台相对于转靶距离可调，其最小距离为40mm。最大距离为90mm。

4、转靶：四个靶位，每个靶位Φ40，挡板只露出一个靶位，激光束要求打在最上面靶位，转靶具有公转、自转功能。自转采用直流电机控制，自转速度15转/分，公转采用步进电机+微机控制转靶到位（也可手动调节）(用户提供微机)

5、 激光入射窗口：Φ63石英玻璃窗透过248nm，两窗成90°布置。

6、 MFC一路质量流量计控制进气 ：0-100sccm；

7、 电源系统：

7.1 样品加热控温电源：FP93表控温，样品加热温度900℃。

7.2 样品加热旋转控制电源

7.3 四工位转靶公转与自转控制电源

7.4 真空室内设置烘烤(采用卤钨灯500W×4支并联，可调电位器控制，不测温)、照明（采用50W，24V 照明灯电钮控制）、水压报警装置（水压低于2kg/cm2自动报警）。

设备主要组成及报价：(单位:元)

序号设备名称型号规格生产厂家数量价 格Ⅰ真空获得与测量：1、球形真空室：1.1涡轮分子泵TFB1200

（保修三年）北京泰岳恒真空技术研究所1台1.2机械泵2XZ-8D

（按南光公司规定执行）成都南光引进

Balzes公司技术1台1.3抽气管道液压波纹管L=800mm沈阳弗莱西波1只1.4闸板阀仿VAT型CF200 沈阳新蓝天1台1.5真空测量计ZDF5201超高真空计成都睿宝1台1.6小计：2、进样室：2.1抽气插板阀VAT型CF100沈阳新蓝天1台2.2进样室抽气管道Φ100波纹管连接沈阳弗莱西波1米2.2真空测量计:ZDF5227电离与热偶计成都睿宝1个2.3旁抽系统①旁抽角阀CF35沈阳新蓝天1只②旁抽电磁挡板阀GDC-J40上海阀门厂1只③旁抽管道，快卸法兰、卡箍沈阳新蓝天1套2.4小计：Ⅱ真空室系统：1、球形真空室：1.1球形真空腔室:Φ450(内径) δ =4，Φ200氟胶圈门一个 1Cr18Ni9Ti沈阳新蓝天1台1.2四工位转靶组件靶材直径Φ40沈阳新蓝天1套1.3基片加热台组件基片尺寸20×20（mm）

用铂金加热丝2.4m制作炉子 沈阳新蓝天1套1.4激光入射石英窗Φ63 透 248nm北京电子部11所2块1.5观察窗CF100锦州玻璃厂1块CF63锦州玻璃厂1块1.6观察窗挡板CF16磁力转轴挡板沈阳新蓝天2套1.7陶封电极引线CF35(四芯)锦州陶瓷封接厂1块1.8转靶挡板沈阳

新蓝天1套1.9基片挡板沈阳新蓝天1套1.10小计：2、进样室：2.1真空腔室:Φ252(内径)×L390 卧式

δ =4，Φ100氟胶圈前门一个沈阳新蓝天1台2.2与主真空室相接闸板阀 GV100沈阳新蓝天1台2.3样品库装6片样品,可上下调节距离,左右换位.沈阳新蓝天1台2.4陶封电极引线CF35(四芯)锦州陶瓷封接厂1块磁力样品传递机构CYC63 L=900mm沈阳新蓝天1套2.5小计：Ⅲ安装机架方钢50×50支撑架

1300×700×850

三面围板喷塑,台面铺不锈钢板沈阳新蓝天1台Ⅳ电源：1基片加热控温电源FP93程序控温表日本岛电公司产品1台2转靶公转步进电机及控制电源75BC380步进电机+驱动器常州步进电机厂1套3转靶自转75BC380步进电机及控制电源常州步进电机厂1套4基片台自转75BC380步进电机及控制电源常州步进电机厂1套5真空室照明、烘烤电源烘烤功率1500W/1室沈阳新蓝天1台6电源机柜H=1.7M沈阳机柜厂2台7机箱和面板沈阳机柜厂1套8小计：Ⅴ进气系统1“MFC”质量流量控制器2路进气/1套电源

0~50sccm；

0~100sccm北京七星华创1套2气路截止阀CF16USD-Swagelok3只3不锈钢管及卡箍、卡套Φ6USD-Swagelok全套4小计：Ⅵ辅助配件1各种规格氟橡胶圈含备件1套铁岭橡胶研究所2套

2各种不锈钢螺栓、螺母、垫圈备经常拆卸法兰口的螺栓、螺母、垫圈外购全套3无氧铜垫圈含备件1套北京科仪2套4水压报警器大连报警器厂1套5专用扳手，工具1套6易损件备件（电器元件）1套7衬底托备件2套小计：8、合计：9、技术设计与培训费、安装调试及售后服务费、包装运输费、税金10、总计：11、设备供货期：自甲乙双方签定合同之日起，乙方五个月准时发货（见发货单）12、质保期：设备在甲方最后验收合格之日起，乙方免费保修三年并终身维修。三、商务及服务要求：

1、投标产品成熟、稳定，有较多成功的实例，有至少3个典型用户（需提供相关证明材料原件，并提供学校名称、联系方式），保证正常教学不受影响。

2、投标书中须对所有的设备提供其生产厂家、技术特点、性能指标等详细情况说明。

3、投标书中应承诺：免费安装调试系统，负责培训相关人员。

4、投标书中应承诺：经使用合格后付款。

5、产品安装投入使用后，供货商须派人员随堂跟踪服务，使教师学会熟练使用。厂方具有良好的信誉，售后服务及时到位。

6、送货上门，免费安装调试。

7、售后响应速度为5小时内登门服务。24小时内修复，24小时不能修复的须免费提供备用设备至修复。

8、从设备

验收之日起所有设备免费保修3年。管理软件终身免费升级，厂家应出具软件免费升级证明。

9、超出保修期后，仍需提供维护服务，只能收取成本费。

要求：技术标书和价格标书分别封装，厂家所报机器必须提供型号及详细技术参数。报价包括系统集成，含工程安装调试、税收、配件等其它费用。设备必须现场安装调试到位、预装指定软件，明确售后服务承诺。（投标文书外封面注明招标文书号）

投标公司名称（盖章） 投标人：（签字）

联系电话： 传真号：

E-mail: 年 月 日

---------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------扬 州 大 学 仪 器 设 备 招 标 文 书 扬州大学实验室与设备管理处 设招YDS----2009

----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------

***[JimiSoft: Unregistered Software ONLY Convert Part Of File! Read Help To Know How To Register.]***下载本文