一)拉晶的基本操作分为13个步骤,如下:

1系统启动 2清炉 3装料 4抽空检漏 5化料 6全熔稳定 7引晶缩颈 8放肩 9转肩 10等径 11收尾 12停炉及热后真空检漏 13拆炉

二)具体明操作

系统启动

在系统启动时先通知机修工送电,待通电后打开控制柜电源并通知机修工检查单晶炉冷却水循环系统及氩气是否可以正常使用.打开控制柜电源后检查晶体转动升降和坩埚转动升降是否正常使用以及晶体上升及下降限位,坩埚上升及下降限位是否也调好.检查石墨件和籽晶钢丝绳重锤,钼拉头是否齐全

清炉

1将炉内石墨件完好的取出

2用砂纸和酒精纸将炉底打磨擦试干净

3将真空泵抽空管道清理干净

4将石墨件用砂纸打磨用究竟纸擦试干净

5按照取出的顺序反向依次安装

注:炉底铜电极和石墨电极及加热器在安装时一定要清理干净避免打火.

三)装料

①将备好的料检查好后用装料车拖至需安装料的炉前

②将托杆螺丝紧好

③将炉底用吸尘器吸干净

④通知师傅检查石英坩埚及石墨件

⑤装料时将母合金先放置在石英坩埚底部

⑥将大块料轻轻地放在底部排放整齐，尽量不要有太大的间隙，中块料及小块料用来填补间隙

⑦在装到石英坩埚顶部时放下去的料与石英坩埚接触面尽量减少

⑧在导流筒放下去后，在导流筒中部将剩余的料装好，注意料在装时不要与导流筒接触

⑨全部装好后封炉

注：装料时请轻拿轻放，装好后炉筒上口、炉盖上口和副室仓门的橡胶密封皮圈一定要装好，并用酒精纸顺一个方向擦拭干净。装料时，OCI的多晶必须全部装下，装剩下的料尽可能只剩下一种，装料前检查是否需要换油及是否有配件需要修理

四）抽空检漏

①封炉后将主室真空泵打开运行2~5分钟，打开主室泵球阀，先开1∕3处待真空泵抽至压力为-0.01再完全打开球阀

②将真空抽至7pa以下到极限后关闭主室泵球阀进行检漏，要求3分钟泄露不超过1pa

注：在抽空过程中，反复2~3次充氩气再关闭氩气抽空。如抽不下或泄露过大及时通知机修工修理

五）加热化料

①抽空检漏完成后将主室泵球阀打开充副室氩气，将压力维持在1.3×pa

②打开加热器电源，切换到温度控制界面将功率加至30kw，半小时后加至50kw，半小时后加至70kw,半小时后加至90kw（加热后将电流过低报警器和加热器异常报警器打开

③在高温后，料化至差不多时将功率降至75kw，如有渣则掉渣，无渣就全部化掉

注：加热时如有异常报警，及时找机修工修理。化料时如有挂边现象则打高功率至95-100kw并把挂边处停置与电极处烘烤，但时间不能太久，等挂边处熔化后降低加热功率并立刻把埚转开起，埚转转速设定为1~2转

六）全溶稳定

①在料化完后，将功率降至60-65kw

②将埚位升至离导流筒与液面倒影未重合1~5cm处

③将埚转升至8转，挥发30~60分钟，埚位为引晶埚位

注：如需测电阻，则在挥发完成后按照上次引晶温度下降1000~1500个SP点，将晶转打开至12转，埚转打升至12~16转放平肩。注意，装料的公斤数和是否有大清炉，如公斤数不一样或大清炉后第一炉则需要重新找温度。测电阻加入姆合室后，将埚转打升至0转，晶转升至12转，使姆合金融化尽，将埚转打至12转，搅拌姆合金20分钟（如需再加则反复操作）

七）引晶缩颈

①将埚转打至8转，等1~2分钟待转速稳定后找引晶埚位。引晶埚位为导流筒与液面倒影重后上升18~22mm.  B段为14~17mm

②将埚转升至12转，等待1~2分钟待转速稳定后将籽晶降下与液面接触试温度，待温度合适后引晶

③引晶要求，细晶直径不超过4mm，长度为150mm

④引晶到快要完成时缩颈，将光圈尽量收小后加肩

八）放肩

①引晶完成后，将拉速放至0.4cm/分钟，根据温度打开温校降温或关闭温校

②放肩时观察肩变方则温度低需要关闭温校提高拉速，肩边部变圆发亮则温度高或拉速快，需要将拉速降低或将温校降低

注：放肩时如温度不稳定，操作工必须跟踪观察，不准无人看管

九）转肩

①放肩至直径为169~171时转肩（具体根据直径要求及温度高低而定）

②转肩拉速为3.5cm/分钟，将肩部整体提升待边部光圈出现后缓慢降低拉速，将光圈与肩部拉成直角后准备投自动

③投入自动前先用炉盖左边的依尔跟控制仪调整好（依尔跟中心圈压在炉内晶体外部光圈，光圈在依尔跟中心圈1／3处）

打开埚升电源，埚跟比电源，将晶体长度清零，温校清零，坩埚位置清零，拉速清零后在选择等径投自动

注：95型单晶炉B段或C段投入自动后温校会累加，必须清零后跟踪观察

十）等径

①转肩完成后，投入自动等径，每小时必须测量一次晶棒直径，如遇B段或C段控径不稳，则必须等到直径稳定后再离开

②等径记录，在晶棒正常等径状况下，当晶体长度超过100mm，每小时准点做好记录，记录要求准确、准时，不得补填

③等径过程中，拉晶工至少每20分钟必须要查看一次炉中运行状况

注：在等径过程中，如遇到晶体变形、扭曲、控径不稳、埚位过高、晶体晃动等异常情况应及时向师傅或班组长反映

十一）收尾

①在等径完成后，退出等径自动，关闭埚升电源，关闭埚跟比电源，并将温校打至15，投拉速0.8cm/分钟

②看着光圈逐渐将晶体收小收尖

③要求收尾长度≥150mm

④如结晶则将埚位下降使晶棒脱离液面停炉

注：根据班组长要求，如剩料过多需放大，将料尽量拉少。初步阶段收尾时，必须有师傅在旁指导

十二）停炉及热后真空检漏

①收尾完成后停炉，降低埚位使晶棒与液面分离，埚位下降10cm

②关闭埚转晶升电源

③将晶转设定为6转/分钟

④关闭电流过低和加热器异常报警

⑤将温度控制退出SP控制

⑥将功率百分比设定为0

⑦关闭电加热器电源

⑧停炉时间为6小时

⑨在停炉5小时后做，进行真空检漏

⑩停炉6小时后拆炉

注：由于95型单晶炉晶体长度过长，所以停炉后不升晶升。热后真空时将氩气关闭，待抽至极限后关闭主室真空泵球阀，检漏要求3分钟泄露不超过1pa，如果泄露过大，拆炉后通知机修工修理。检漏完成后，关闭主室泵电源，停炉后查看记录本，如需换油通知机修工换油，换油为每四炉换一次

十三）拆炉

①打开副室氩气，将副室仓门冲开

②一人抓住副室拉升腔把手，将副室升起

③扶好炉盖将炉盖升起

④将晶棒升至不会与炉筒碰撞的位置

⑤将炉盖及副室推向炉体左侧

⑥将晶棒移至放晶棒的框中

⑦将石墨件取出

⑧清理储气罐，排气口及石墨件

⑨装棒

注：如晶棒长晶低于1400可直接将晶棒升于副室中，可移动副室降晶棒拆炉。95型单晶炉装料时间为1.5小时

副室操作

1、当提肩、提渣、提段或更换稳定籽晶时，先将肩、渣、段、籽晶升至副室内翻盖阀碰不到的地方

2、打开主室氩气（流量计升度比副室略低），关闭翻盖阀待副室氩气将副室仓门冲开后取出肩、渣、段、籽晶，用酒精纸将籽晶擦拭干净，并稳定至不晃动

3、将籽晶升至副室内翻盖阀碰撞不到的高度

4、用酒精纸将副室仓门密封圈擦拭干净，并安装好（擦拭密封圈时检查密封圈是否完好，如有开裂破损过大则需及时更换）

5、关闭副室仓门并把四个螺丝紧好

6、打开副室真空泵

7、打开副室真空球阀

8、将副室真空抽至－0.1，关闭副室真空球阀，打开副室氩气流量计，将副室真空压力充至－0.05，关闭副室氩气流量计

9、打开副室真空球阀，将副室真空抽至极限

10、打开翻盖阀

11、将副室氩气流量计打开升度比主室略高。关闭主室氩气流量计

12、关闭副室真空球阀

13、关闭副室真空泵电源

14、将籽晶下降至离液面3cm处，打开晶转，转速为12转？？热籽晶

15、找温度引晶

注：氩气压力不要过大，一般压力为≤1.3×pa,节约成本。副室操作也可以在第8步时，待压力抽至－0.05，打开副室氩气流量计抽空3分钟后关闭副室氩气流量计，待副室真空抽至极限后打开翻盖阀。

提段

在等径过程中，晶棒在300mm以上有晶线断棱，则需要进行提段操作

1、退出自动控制

2、关闭埚升电源

3、关闭埚跟比电源

4、降埚位，将埚位下降8~10ccm

5、将晶转设为6转/分钟

6、晶升设定为5.0mm/分钟

7、将控制面板中的温校清零，晶升SP清空

8、将温度控制中SP控制退出，退至OP控制提升温度

9、晶棒提升3小时后，提升至副室翻盖阀碰不到处，关闭晶转打开主室氩气比副室略低

10、关闭翻盖阀，将副室压力充至－0.05后关闭副室氩气流量计，冷却1小时后，将副室仓门冲开，提升副室取段

注：目前B段C段温度计算为，100m长度约为200~250个SP点，计算为A段引晶温度＋（提段长度×2或2.5）

回融

在放径坏或等径长度小于100坏时需要回融提渣或全部回融

1、退出等径自动

2、关闭埚升、埚跟比电源

3、关闭埚转晶升电源

4、温度控制中退出SP控制到OP控制，将功率设定为75

5、降低埚位低于引晶埚位5~8cm

6、待温度高于引晶温度1000个SP点时，降晶体与液面接触，待与液面接触处光圈融化消失，再下降3~5mm，再等光圈融化消失，再下降3~5mm，如此反复，一直到离肩部1cm处，最后一次下降使肩部与液面平，待液面平稳后，将肩提出液面，如有渣则提肩，无渣则全部回融

注：放肩坏直接回融，只需关闭埚转晶升，将温度设定至引晶温度，埚位下降3cm回融即可

（拉晶工种上班操作时应轻拿轻放，三思而后行，高温作业，注意人身安全）下载本文