一、研究背景：

集成电路，就是在一块半导体单晶片上，通过一系列特定的加工工艺，制造出许多晶体管、二极管等有源器件和电容、电阻等无源器件（元件工作时，内部没有任何形式的电源供电），并按照一定的电路互连关系“组装”起来，封装在一个外壳内，执行特定的电路或系统功能，这种新型电子器件在体积、重量、耗电、寿命上都优于传统的半导体分立元件电路。

从晶圆到集成电路成品大概需要数百道工序，这些工序大致可分为三类：图形转换、掺杂、制模。这些工序需要反复进行几十次，例如Pentium 4 CPU要经过26道光刻工序，每次需要使用不同的掩膜，再加上掺杂以及金属镀膜等很多处理步骤，一个CPU制造工序达数

百道。

简言之，集成电路制造工艺就是把电路所需的各种元件用一定的工艺制作在一块硅片上或其他材料上，再用适当的工艺进行互连，然后封装起来，使之成为能应用于实际的芯片。

二、所属学科和检索式

学科范畴：无线电电子学、电信技术

中图分类号：TN405（无线电电子学、电信技术>微电子学、集成 电路（IC）>一般性问题>制造工艺）

检索词：集成电路制造  工艺原理

检索扩展词（含上位词、下位词、同义词等）：集成电路、IC 、integrated circuit、半导体器件、integrated semiconductor、制造工艺、制造原理、工艺流程、manufacturing technology

中文检索式：（集成电路OR IC OR 半导体器件 ）AND（制造工艺OR工艺原理OR工艺流程 ）

英文检索式：（integrat* circuit OR integrat* semiconductor）AND（manufactur* technolog* OR technolog* process)

三、中文数据库

万方数据库：

利用万方搜索，通过武汉大学图书馆首页进入万方数据库。我们先在不限定条件的情况下检索一次看看 有什么样的结果：

找到91结果：

现在利用高级检索：

文献类型选择期刊论文、学位论文、会议论文

检索表达式：

题名或关键词:("集成电路 ") * 题名或关键词:(制造工艺) * Date:1995-2014 

检索结果82条，数量倒是还可以，但是仔细看看有一些和我想要的内容不相干，比如第一篇就是：浅谈"集成电路制造工艺"的课程建设和教学实践 ，所以我加入了条件，去掉包含“课程 or教学”的论文，再次检索，检索式：

题名或关键词:("集成电路 ") * 题名或关键词:(制造工艺) ^ 题名或关键词:(课程 or 教学) * Date:1995-2014 

这次结果是75条，数量和内容都比较满意。

在检索结果中，一篇名为《集成电路制造工艺探析》的论文比较吸引我。

我对这篇论文进行了阅读、导出到NoteExpress，并查看了相关的文献和博文。

四、外文数据库

EI数据库

设置好文献类型，时间是1990---2014，设置好语言。并且运用了截词符。

找到了86条结果。

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