晶圆代工厂的制造流程会根据具体所制造芯片的需求有所不同，但通常会遵循一些基本的步骤。常见的工艺流程包括化学气相沉积（CVD）、金属溅镀薄膜、光阻涂布、曝光和显影、蚀刻、离子注入、去除光阻以及去除氮化硅。这些工艺的不断重复和组合，使得设计图纸上的电路能够被物理实现。
CVD用于沉积薄膜，金属溅镀薄膜是将金属沉积在晶圆表面，光阻涂布则是将光敏材料涂覆在晶圆表面。曝光和显影过程利用紫外线将特定区域的光敏材料转化为可蚀刻的形式，蚀刻则通过化学或物理方法去除不需要的材料，离子注入则是将带电粒子注入晶圆内部。去除光阻和氮化硅是为了在后续步骤中暴露底层材料。
完成这些步骤后，晶圆上的电路已经基本完成，接下来需要进行晶圆测试（WAT）。这一测试阶段主要是检查晶圆上的电路是否按照设计要求正常工作。
封装测试阶段通常由OSAT（外包封测厂）完成。这一阶段涉及将芯片从晶圆上切割下来，然后进行封装和测试，确保每个芯片都能正常运行。
整个流程中，每一步都至关重要，因为任何一个小的失误都可能导致最终产品无法达到预期性能。因此，晶圆代工厂需要有严格的质量控制体系，以确保每一片晶圆都能达到最高标准。
下载本文
