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三氟化氮生产过程堵管道怎么解决
2024-08-30 22:30:39 责编:小OO
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三氟化氮生产过程堵管道解决放法：
1.热解法：如果管道内部是由于三氟化氮在管道内期沉积导致的结垢，可以采用热解法进行清洗。具体方法是，在管道内部通入高温氮气，加热管道，使结垢物质热解，随氮气一起排出管道。
2.化学清洗法：如果管道内部是由于化学反应产生的堵塞，可以采用化学清洗法进行清洗。
三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体，是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体。

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