工业用超纯水设备的多种制备工艺流程如下：
1. 传统离子交换树脂工艺：
- 原水首先经过沙炭过滤器，去除大颗粒杂质。
- 然后通过精密过滤器，进一步净化。
- 阳床和阴床通过离子交换作用，去除硬度离子和阴阳离子。
- 混合床（复床）进一步吸附残留杂质。
- 经过纯水箱，由纯水泵输送至后置精密过滤器。
- 最后供应到用水点。
2. 反渗透与离子交换结合方式：
- 原水先通过沙炭过滤器，软化后再通过精密过滤器。
- 反渗透设备随后去除大部分溶解性物质。
- 纯水箱存储后，通过混床（复床）进一步提纯。
- 超纯水箱储存后，再经超纯水泵输送。
- 后置精密过滤器确保水质纯净。
- 最终供应到用水点。
3. 反渗透与电去离子（EDI）结合的现代工艺：
- 原水经过沙炭过滤器和软水器，再通过精密过滤器。
- 反渗透设备去除大部分杂质。
- 纯水箱储存后，通过电去离子（EDI）设备进一步提升纯度。
- 超纯水箱存储，超纯水泵输送。
- 经过抛光混床和紫外线杀菌器确保水质安全。
- 最后通过终端精密过滤器，纯净水直接供应到使用点。
以上三种工艺可根据具体需求选择最适合的制备超纯水的设备和流程。
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