（一）早期的度量和测量工具
1. 称重器和计时器
人类最早的度量工具是称重器和计时器，反映了人类早期的认识和生活需求。大约公元前2500年，已有使用天平的证据，而公元前1350年，在普通贸易中使用天平的最早迹象出现。天平杆是木制的，砝码是青铜制成的各种鸟兽形状。原始的计时器主要有影钟、水钟和水运天文台三种。公元前1450年，古埃及已有绿石板影钟。到了公元14世纪，表示时间的唯一可靠方法是日晷或影钟。公元前600年至公元前525年，也有用棕榈叶和铅垂线记录夜间时间和特定天体的仪器。当天体通过子午线时，从棕榈叶的开口中观察到天体穿过铅垂线的过程。在中国江苏仪征，出土了东汉中期的小型折叠铜质民间测影仪器。公元1400年前，埃及记录较短时间的仪器叫水钟，水钟内有刻度，下有小孔，整个水钟用雪花石膏做成瓶状。在古希腊和古罗马，有当时世界上唯一的机械计时仪——水仪。通过水的传递计量时间，记录的是不断流动的概念而不是连续相等的时间，非常不精确。中国北宋时期的苏颂和韩公谦于1088年制作了天文计时器——天文仪象台。它采用民间的水车、筒车、桔槔、凸轮和天平秤杆等，是集观测、演示和报时为一身的天文钟，被称为水运天文台。
2. 指南针、浑天仪、地动仪
在中国，公元前300年至公元前100年，有人利用天然磁石的性质，发明了磁罗盘，即定向仪器；指南针到宋代发展成熟。中国西夏时期就有观测和记录天文的仪器，叫浑天仪。元代的郭守仪（1231年-1361年）对浑天仪进行了改造，制成简仪，其制造水平在当时遥遥领先，其原理在现代工程测量、地形观测和航海仪器中广泛使用。东汉时期，张衡发明了世界上第一台自动天文仪——浑天仪和世界上第一台观测气象的候风仪，开创了人类使用仪器测量地震的历史。
（二）中世纪的仪器
至1500年，世界上已有了精密仪器。这时的天文仪器已经比较精确，主要有赤道经纬仪、子午浑仪、视差仪，以及希腊的角度仪、水准仪和星盘等；计时仪器有便携式日昝和水钟；计算和证明仪器有天球仪、日历、小时计算器等。这些仪器的制造工艺和使用材料等在当时都有相当高的水平和测量精度。780年，穆斯林造币厂的工人把天平放在密闭容器中，以两次的称量结果相比较，天平经过无数次摆动达到平衡后读取数据，能称出1/3毫克。这是分析天平的始祖。
（三）文艺复兴时期的科学仪器
15世纪后期，随着自然科学的发展，早期的科学仪器也以不同的背景和形式逐渐形成，主要有光学仪器、温度计、摆钟、数学仪器等。
光学仪器
1590年左右，荷兰人扎哈里那斯·詹森制造了第一个非常精确的复合显微镜，这就是今天人们常说的显微镜。另一荷兰人汉斯·利佩于1608年发明了单筒望远镜，后来又发明了双筒望远镜。伽利略把望远镜和显微镜第一次用于科学实验，并于1609年后制造了第一台长29米、直径42毫米的铅管仪器，所以后来人们常把伽利略作为望远镜和显微镜的实际发明者。1611年，刻卜勒出版了《屈光学》，解释了望远镜和型扰行显微镜的光学原理，并提出了“天文望远镜”的设想。再后来，沙伊纳制造第一架天卜哗文望远镜，牛顿于1668年制成了第一架天文反射望远镜。18世纪后半叶，所有的光学仪器都是在开普勒式透镜组合的基础上改造。
温度计
伽利略在他早期的实验中，用玻璃管制成了空气温度计。后来，托斯卡斯的大公斐迪南二世改良制成液体温度计。大约1714年，华伦海特创造了以其名字命名的温度计，被称为华氏温度计。17世纪末，气压计和温度计与刻度标尺、指针和其他配件配合安装在一起，成为仪器大家庭中的重要组成部分，也是仪器制造贸易中的重要部分。
数学仪器
英格兰的吉米尼(Thomas Gemini)率先进行数学仪器(1524年-1562年)的制造，之后不久英国雕刻匠和制模匠科尔(Humfray Cole)开始从事仪器的专门制作，从此开始出现了大批的仪器供应商，产品范围从星盘、日昝和象限仪扩展到观测和测量用仪器，以及一系列演示“自然科学实验”的仪器。
其它仪器
到1650年后，新型的精密仪器就不断地被制造出来。如测量用的圆周仪、量角器，航海用的高度观测仪和反向式八分仪，绘图和校仪用的分度尺和绘图仪，还有经纬仪、气泡水平仪、新型望远准镜、测探仪、海水取暖器、玻意尔制造的比重计、摆钟，等等。这些精密仪器为17世纪后自然科学的发展提供了重要保障，是科学技术发展的标志，也为科学仪器的进一步发展打下了良好的基础。
到了18世纪初，由于科学研究和科学课堂的需求，制造者们开始设计和生产标准的仪器和配件；仪表工匠与其他专业制造者联合起来，制造了光学、气动、磁力和电力等方面的仪器，从此将仪器与仪表正式结合起来，使仪器仪表融为一体，成为一个专门的学科。
以蒸汽机的发明为标志，一种将蒸汽的能量转换为机械功的往复式动力机械，引起了18世纪的工业，人类进入了工业化时代。
1800年，英国的特里维西克设计了可安装在较大车体上的高压蒸汽机，这是机车的雏型。英国的史蒂芬孙将机车不断改进，在1829年创造了“火箭”号蒸汽机车，该机车拖带一节载有30位乘客的车厢，时速达46公里/时，引起了各国的重视，开创了铁路时代。
自从奥斯特在1820发现了电流的磁效应，奥斯特做了六十多个实验，考察电流对磁针作用的强弱、电流对磁针的影响；并在1820年7月21日发表了题为《关于磁针上电流碰撞的实验》的论文，向科学界宣布了电流的磁效应，揭开了电磁学的序幕，标志着电磁学时代的到来。
1831年8月26日，法拉第用伏打电池在给一组线圈通电（或断电）的瞬间，在另一组线圈获得的感生电流，称之为“伏打电感应”。同年10月17日，法拉第完成了在磁体与闭合线圈相对运动时在闭合线圈中激发电流的实验，称之为“磁电感应”，并提出磁场的概念，实现了“磁生电”，创造电磁力学，设计了圆盘发电机，宣告了电气时代的到来，以电磁为核心的第一代电磁式仪器开始逐步走向成熟。电磁效应的发现与应用，为原始的机械式仪器仪表向电磁式仪器仪表发展提供了理论和技术保障，使第一代指针式仪器仪表正式形成与发展。
麦克斯韦继法拉第之后集电磁学大成，在1865年他预言了电磁波的存在，说并指出电磁波只可能是横波，计算出电磁波的传播速度等于光速。麦克斯韦于1873年建立电磁理论，在出版的科学名著《电磁理论》中系统、全面、完美地阐述了电磁场理论，成为经典物理学的重要支柱之一。
1886年至1888年，德国物理学家赫兹通过试验验证了麦克斯韦尔的理论，证明了无线电辐射具有波的所有特性，进而发现了无线电波，设计出了雷达，开启了无线电波通信技术，使远距离无线测量仪器的出现成为可能，让电话、电视等电器有了飞跃发展。
随着X射线、γ射线先后被德国科学家伦琴、法国科学家P.V.维拉德发现，因其超强穿透力这一特性，使仪器的功能与概念被进一步推向更深的领域，如广东正业的X光检查机、检孔机ASIDA－JK2400、线宽检测仪等仪器，就采用了X射线、γ射线的超强穿透力研发的先进检测仪器设备。
20世纪初，电子技术的发展使各类电子仪器快速产生，如今后普及全球的电子计算机，便是从这一时代开始崛起的。同时，随着工业化程度的不断提高，各行各业的电子仪器如雨后春笋般地出现，如计量、分析、生物、天文、汽车、电力、石油、化工仪器等。电子仪器的产生使仪器仪表从模拟式仪器过渡到数字式

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