1. 氮化硅(Si3N4)是一种重要的化合物半导体材料,以其卓越的高温、高频、大功率和抗辐射特性而备受关注。
2. 氮化硅的晶体结构与二氧化硅类似,都是由硅和氮原子以交替方式排列形成的共价键晶体。
3. 氮化硅的能带隙约为3.2电子伏特,这一特点使其成为宽带隙半导体材料。宽能带隙赋予了氮化硅优异的热稳定性、漏电性能、机械性能和化学稳定性,同时也使其具有较低的热导率。
4. 在半导体器件中,氮化硅可用作绝缘层、介质层或钝化层,适用于制造耐高温、高频、大功率的电子器件,例如高温晶体管、集成电路、微波器件等。
5. 除了在电子器件中的应用,氮化硅还可用作高温绝缘材料和耐磨材料,广泛应用于高温炉具、航空发动机部件、燃气轮机部件等领域。
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