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FZH-2型复合真空计
2024-12-14 20:43:00 责编:小OO
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FZH-2型复合真空计是一种由热偶和电离两部分复合而成的仪表,适用于实验室和镀膜行业的生产车间。该仪表的主要技术数据包括:测量范围为热偶部分1×102~1×10-1Pa,电离部分1×10-1~1×10-5Pa;热偶加热电流为90~150mA,加热电流稳定度±1%;发射电流稳定度±1%,电离发射电流5mA;放大器稳定度±2%;体积及重量为119×400×230(mm),5kg;电源为220V AC 50Hz;电离部分有0~5V址流信号分档输出。


该仪表采用了新的线路、器件和机箱设计,放大器的零点漂移减少到不超过±1%,重量减少了约1/3。在确保测量精度的前提下,精简了操作机构,使用、操作及维修更为简便。


该复合真空计的规管型号为ZJ-51+ZJ-2和FB-1,测量范围分别为1.0×10-1~1.0×10-5Pa和320×119×280(mm)。接通电源预热10min后,将K6置于加热位置(见图8),调整电流调节钮至启封电流值。热偶规管开封前的真空度为133.322×10-4~133.322×10-5Pa,在连接至真空系统前,应确保热偶规管与复合真空计连接,使规管垂直向上(管座向下),接通电源开关,K6置于测量位置,调整电流调节钮至电流表满刻度,持续3min。之后将K6置于加热位置,从电表第三行刻度读取加热电流值,重复测量三次,此电流即为该热规管工作时的电流,称为启封电流。最后将K6拨至测量位置,读取压强值。如有两个热偶规管,将开关K6置于加热位置1或2,分别对管1或管2进行测量。


当体系真空度达到133.322×10-2~133.322×10-3Pa时,开始用电离规测量高真空。使用电离规的方法为:将K6置于断位置,接通电源预热10min,K4置于发射位置,K3置于测量位置,接通规管灯丝(K2),旋发射调节旋钮至5×10-3A(表上有红线)。然后将K4置于零点位置,旋零点调节旋钮使电表指零。接着将K5置于校准位置,K4置于测量位置,旋校准调节旋钮使电流表指针满刻度10处,最后将K5指向10-4、10-5处即可测量系统真空度。在去气过程中,旋发射调节旋钮至5×10-3A,K3置于“去气”位置,K4置于零点位置,去气时间约10~15min,去气完毕后,K3置于测量位置,K5指向10-4、10-5处,测量系统真空度。

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