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intel制程工艺4大突破
2024-12-12 05:19:18 责编:小OO
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Intel在制程工艺方面取得了四项重大突破,这些突破将对未来的集成电路设计与生产产生深远影响。

第一项突破是减成法钌互连技术。这一技术采用了新型金属钌作为互连材料,通过引入空气间隙,成功降低了线间电容,提高了互连的微缩性能。这不仅提高了异构集成的可行性,还带来了成本效益,有望在更小的制程节点上得到广泛应用。

第二项突破是选择性层转移技术。这是一种异构集成解决方案,能够以更高的灵活性集成超薄芯粒。与传统技术相比,SLT技术显著缩小了芯片尺寸,提高了纵横比,并有望将封装吞吐量提升高达100倍,实现超快速的芯片间封装。

第三项突破是硅基RibbonFET CMOS晶体管技术。Intel展示了栅极长度仅为6纳米的硅基RibbonFET晶体管,这一进展显著缩短了栅极长度,减少了沟道厚度,并抑制了短沟道效应,达到了业内领先水平。这一技术突破为推动摩尔定律的进一步发展提供了关键支持。

第四项突破是用于微缩的2D GAA晶体管的栅氧化层技术。Intel在2D GAA晶体管制造方面取得了新进展,通过研发栅氧化层模块,成功将晶体管的栅极长度缩小到了30纳米。此外,该研究还涉及了2D ,这种材料未来有望在先进晶体管工艺中替代硅,为半导体行业带来新的发展机遇。

总的来说,Intel的这四项制程工艺突破涵盖了新材料应用、异构封装技术、全环绕栅极晶体管创新等多个关键领域,将有力推动半导体行业的技术进步和产业发展。

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