化学成分，纳米粒子的粒径，纳米粒子的表面分析。
1、化学成分：是决定纳米粒子及其制品性能的最基本因素。常用的仪器分析法主要是利用各种化学成分的特征谱线，如采用X射线荧光分析和电子保针微区分析法可对纳米材料的整体及微区的化学组成进行测定。可以与扫描电子显微镜SEM配合，使之既能利用探测从样品上发出的特征X射线来进行元素分析，又可以利用二次电子、背散射电子、吸收电子信号等观察样品的形貌图像。可以根据扫描图像边观察边分析成分，把样品的形貌和所对应微区的成分有机的联系起来，进一步揭示图像的本质质。此外，还可以采用原子发射光谱AES、原子吸收光谱AAS对纳米材料的化学成分进行定性、定量分析；采用X射线光电子能谱法XPS可分析纳米材料的表一面化学组成、原子态、表面形貌、表面微细结构状态及表面能态分布等。
2、纳米粒子的粒径：扫描探针显徽技术SPM以扫描隧道电子显微镜STM，原子力显微镜AFM、扫描力显微镜SFM、弹道电子发射显徽镜BEEM、扫描近场光学显微镜SNOM等新型系列扫描探针显徽镜为主要实验技术，利用探针与样品的不同相互作用，在纳米级乃至原子级的水平上研究物质表面的原子和分子的几何结构及与电子行为有关的物理、化学性质，在纳米尺度上研究物质的特性。
3、纳米粒子的表面分析：扫描电子显微镜(SEM)，透射电了显微镜(TEM)、扫描隧道显微镜(STM)、原了力显微镜(AFM)法。扫描电镜和透透射电镜形貌分析不仅可以分析纳米粉体材料，还可分析块体材料的形貌。提供的信息主主要有材料的几何形貌，粉体的分散状态，纳米颗粒的大小、分布，特定形貌区域的元素组且成和物相结构。
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