| （12）发明专利申请 | ||
| （10）申请公布号 CN1099576A（43）申请公布日 2019.07.02 |
（22）申请日 2019.04.25
（71）申请人 上海森松新能源设备有限公司
地址 201323 上海市浦东新区祝桥镇空港工业区金闻路29号-1
（72）发明人 陈宏伟;许晟;李振星
（74）专利代理机构 北京品源专利代理有限公司
代理人 胡彬
（51）Int.CI
| 权利要求说明书 说明书 幅图 |
多晶硅还原炉控温系统及工艺
（57）摘要
| 本发明公开了一种多晶硅还原炉控温系统及工艺，该多晶硅还原炉控温系统包括氢气预热器、混合器、汽化过热器和还原炉，氢气预热器壳程的预热氢气出口与混合器的进气口连通，混合器的气液混合物出口与汽化过热器的气液混合物进口连通，汽化过热器的混合气体出气口连通还原炉的进气口，还原炉的尾气出口与汽化过热器的尾气进口连通，汽化过热器的尾气出口连通氢气预热器的管程尾气进口。上述的多晶硅还原炉控温系统具有设备成本低、还原炉单炉操作灵活性高、混合气体进炉温度调节简单及时、温度调节上限高，且还原热量回收利用率高的有益效果。相应地，本发明还提供了一种多晶硅还原炉控温工艺。 |
| 法律状态公告日 | 法律状态信息 | 法律状态 |
| 2019-07-02 | 公开 | 公开 |
| 2019-07-02 | 公开 | 公开 |
| 2019-07-02 | 公开 | 公开 |
| 2019-07-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2019-07-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2020-06-16 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权、专利权的转移 |
权利要求说明书
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说明书
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