1.真空单位换算 | ||||||
压力单位表:
| bar | mbar | Pa | atm | Torr | mTorr |
1bar | 1 | 103 | 105 | 0.987 | 0.75×103 | 0.75×106 |
1mbar | 10-3 | 1 | 102 | 0.987×10-3 | 0.75 | 0.75×103 |
1Pa(N/m2) | 10-5 | 10-2 | 1 | 0.987×10-5 | 0.75×10-2 | 7.5 |
1atm=760Torr | 1.01 | 1.01×103 | 1.01×105 | 1 | 0.76×103 | 0.76×106 |
1Torr(mmHg) | 1.33 | 1.33×102 | 1.32×10-3 | 1 | 103 | |
1mTorr | 1.33×10-6 | 1.33×10-3 | 1.33×10-1 | 1.32×10-6 | 10-3 | 1 |
流速与漏率:
Pa·l/s | mbar·l/s | Torr·l/s | atm·cm3/s | sccm | |
1Pa·l/s | 1 | 10 | 7.5 | 9.87 | 0.592 |
1 mbar·l/s | .0.1 | 1 | 0.75 | 0.987 | 0.0592 |
1 Torr·l/s | 0.133 | 1.33 | 1 | 1.32 | 78.9 |
1 atm·cm3/s | 0.101 | 1.01 | 0.76 | 1 | 60 |
1 sccm | 1.69 | 1.69×10-2 | 1.27×10-2 | 1.67×10-2 | 1 |
温 度:
K | ℃ | ℉ | |
K | 1 | K-273.15 | 9/5×K-459.67 |
℃ | ℃+273.15 | 1 | 9/5×℃+32 |
℉ | 5/9×(℉+459.67) | 5/9×(℉-32) | 1 |
℃ | -50 | 0 | 50 | 100 | 150 | 200 | 250 |
℉ | -58 | 32 | 122 | 212 | 302 | 392 | 482 |
扭 矩:
Nm | Kp m | Kgf cm | |
Nm | 1 | 0.102 | 10.2 |
Kp m | 9.81 | 1 | 100 |
Kgf cm | 0.098 | 0.01 | 1 |
真空常用公式 | |
1、玻义尔定律 体积V,压强P,P·V=常数 一定质量的气体,当温度不变时,气体的压强与气体的体积成反比。 即P1/P2=V2/V1 2、盖·吕萨克定律 当压强P不变时,一定质量的气体,其体积V与绝对温度T成正比: V1/V2=T1/T2=常数 当压强不变时,一定质量的气体,温度每升高(或P降低)1℃,则它的体积比原来增加(或缩 小)1/273。 3、查理定律 当气体的体积V保持不变,一定质量的气体,压强P与其他绝对温度T成正比,即: P1/P2=T1/T2 在一定的体积下,一定质量的气体,温度每升高(或降低)1℃,它的压强比原来增加(或减 少)1/273。 4、平均自由程: λ=(5×10-3)/P (cm) 5、抽速: S=dv/dt (升/秒)或 S=Q/P Q=流量(托·升/秒) P=压强(托) V=体积(升) t=时间(秒) 6、通导: C=Q/(P2-P1) (升/秒) 7、真空抽气时间: 对于从大气压到1托抽气时间计算式: t=8V/S (经验公式) V为体积,S为抽气速率,通常t在5~10分钟内选择。 8、维持泵选择: S维=S前/10 9、扩散泵抽速估算: S=3D2 (D=直径cm) 10、罗茨泵的前级抽速: S=(0.1~0.2)S罗 (l/s) 11、漏率: Q漏=V(P2-P1)/(t2-t1) Q漏-系统漏率(mmHg·l/s) V-系统容积(l) P1-真空泵停止时系统中压强(mmHg) P2-真空室经过时间t后达到的压强(mmHg) t-压强从P1升到P2经过的时间(s) 12、粗抽泵的抽速选择: S=Q1/P预 (l/s) S=2.3V·lg(Pa/P预)/t S-机械泵有效抽速 Q1-真空系统漏气率(托·升/秒) P预-需要达到的预真空度(托) V-真空系统容积(升) t-达到P预时所需要的时间 Pa-大气压值(托) 13、前级泵抽速选择: 排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等,它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值,选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走,根据管路中,各截面流量恒等的原则有: PnSg≥PgS 或 Sg≥Pgs/Pn Sg-前级泵的有效抽速(l/s) Pn-主泵临界前级压强(最大排气压强)(l/s) Pg-真空室最高工作压强(托) S-主泵工作时在Pg时的有效抽速。(l/s) 14、扩散泵抽速计算公式: S=Q/P=(K·n)/(P·t)(升/秒) 式中:S-被试泵的抽气速率(l/s) n-滴管内油柱上升格数(格) t-油柱上升n格所需要的时间(秒) P-在泵口附近测得的压强(托) K-滴管系数(托·升/秒) K=V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt 其中V0-滴管和真空胶管的原始容积(升) L-滴管刻度部分的长度(mm) n-滴管刻度部分的格数(格) Υ0-油的比重(克/厘米3) Υm-汞的比重(克/厘米3) Pa-当地大气压强(托) △Vt-滴管的刻度上的一格的对应的容积(升/格) 15、旋片真空泵的几何抽速计算公式: S=πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s) 式中:Z为旋片数,n为转速(转/分),L为泵腔长度,D为泵腔直径,d为转子直径(cm),Kv 为容积利用系数(一般取95%)。 16、O型橡胶槽深B=0.7D D为橡胶直径,槽宽C=1.6B 17、方形橡胶槽深B=0.8A A为方形橡胶边长,槽宽C=1.67B |