| 文件编号 | 高效过滤器检漏规程 | 颁发部门 | |||
| EO-01-008B | |||||
| 原版号 | 执行日期 | ||||
| EO-01-008A | |||||
| 编制者 | 审核者 | 批准者 | |||
| 编制日期 | 审核日期 | 批准日期 | |||
| 分发部门 | |||||
2.范围：适用于洁净厂房高效过滤器泄漏的检查。
3.职责：生产设备部和质量管理部对本标准的实施负责。
4.程序：
4.1 测试方法：尘埃粒子计数扫描巡检法。
4.2 测试范围：300000级的高效过滤器，必须在现场对以下部位进行扫描巡查：
4.2.1 过滤器的滤材。
4.2.2 滤材与其框架内部的连接。
4.2.3 过滤器框架的密封垫和过滤器组支撑框架之间的连接。
4.2.4 支撑框架和墙壁或顶棚之间的连接。
4.3 检测仪器：
尘埃粒子计数器。
4.4 原理：根据浮游粒子在一定强度的光照射下所散射出与其粒径成一定比例关系的光通量原理，粒子散射光经光电转换变成电信号，经放大和计算机处理后被显示粒子当量直径和相应粒子数量。
4.5 检测程序：
4.5.1 用尘埃粒子计数器采样头扫描过滤器的出风侧。采样头离过滤器距离约2cm，沿过滤器内边框等巡检，扫描速度应低于5cm/秒。
4.5.2 当周期为2min时，0.5um粒子数≥20，报警叫响，表明泄漏量超标，需要修补或更换。
4.5.3 用环氧树脂胶堵漏或紧固螺栓后，再进行扫描巡检。
4.6 检测频度：
4.6.1 在安装或更换高效过滤器时应进行检测。
4.6.2 正常使用情况下，每年至少检测一次。下载本文
