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SEM操作规程
2025-10-05 10:03:53 责编:小OO
文档
扫描电子显微镜操作规程

一、开始运行系统:

1.打开总电源。

2.打开空气压缩机。

3.打开机械泵和变压器。

4.通入冷却水。

5.打开真空电源,系统开始抽低真空。

6.30分钟后,使系统抽高真空。

7.待前级真空、管道真空和高真空均指示到200的位置以后,即可开始工作。

二、关机

1.关闭阀1,打开“STAND BY”开关。

2.将真空控制板上的自动、手动开关置于手动,此时只有阀2继续抽扩散泵的前级真空。

3.30分钟后,关真空电源。

4.关闭机械泵、空气压缩机、总电源。

5.关冷却水。

三、注意事项:

1.在测量高真空时,不要将表头开关置于HI VAC位置上。

2.加高压时,不要一下子加到20-30KV,特别是房间较潮湿的地方,高压容易打火,造成仪器元件损坏。所以可以先加10KV,再以1KV的步距逐步增加高压。

3.要慢慢增加束流,并且是灯丝在饱和点工作。

4.灯丝一定要安正,否则看不到图像。

5.在仪器不用时,要定期开机抽真空。-

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