用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备_动视

用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备

2025-10-04 04:03:36 责编:小OO

（19）中华人民共和国国家知识产权局

	（12）发明专利申请
		（10）申请公布号 CN1106119A（43）申请公布日 2019.12.27

（21）申请号 CN201911052715.0

（22）申请日 2019.10.31

（71）申请人湖南红太阳光电科技有限公司

地址 410205 湖南沙市高新开发区桐梓坡西路586号

（72）发明人李晔纯;成秋云;罗志敏;张弥涛

（74）专利代理机构湖南兆弘专利事务所(普通合伙)

代理人戴玲

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（54）发明名称

用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备

（57）摘要

本发明公开了一种用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备，包括六轴插取片机器人和硅片过渡传输导轨，还包括三个立式镀膜反应柜，三个立式镀膜反应柜围成C形区域，硅片过渡传输导轨设于C形区域的开口处，六轴插取片机器人设于C形区域内。该用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备布局合理、集约程度高、生产效率高以及生产成本低。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2019-12-27	公开	公开
2019-12-27	公开	公开
2020-01-21	实质审查的生效	实质审查的生效

权利要求说明书

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说明书

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