半导体超纯水设备工程
超纯水设备是用在反渗透等水处理工艺之后,用来制取超纯水的水处理设备。设备将阴、阳离子按照比例混合装填于同一容器内,使其处理后的水质电导率可低于1uS/cm以下,出水电阻率达到10MΩ.cm以上,根据不同行业的用水要求,可将出水电阻率可控制在1-18MΩ.cm之间。
半导体超纯水设备工程特点
1、设计参数准确、系统运行稳定;
2、仪器仪表完善,在线读取运行数据;
3、设备欠压或超压时,可及时报警停机;
4、自动化程度高,减少人力投入;
5、设备集成度高,便于运输与安装。
半导体超纯水设备工程应用范围
1、液晶显示器的生产、屏面需用纯水清洗和用纯水配液。
2、晶体管生产中主要用于清洗硅片,另有少量用于药液配制。
3、集成电路生产中高纯水清洗硅片。
4、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路。下载本文