编号 ：QI/TB品控－02－2007

江苏天保光伏能源有限公司

工序检验作业指导书

编    制              

审    核              

批    准   曹 向 阳 

分 发 号             

受控状态              

实施日期：     年     月     日

发布日期：     年     月     日

工序检验作业指导书

一 工序检验标准

1  单晶硅片质量检验标准 

1.1导电类型：P  

1.2电阻率：0.5—3Ω·cm ； 3—6Ω·cm

1.3尺寸：边长：（125±0.5）mm×（125±0.5）mm ，（156±0.5）mm×（156±0.5）mm；127×127±0.5

对角线（mm）：≥150±0.5 / 201±1.0  / 154±0.5

1.4厚度：210±20μm 

1.5钝型缺口：向电池内表面延伸≤0.5 mm， 长≤1.5 mm，每片少于1个。

1.6锯痕：深度≤10μm

1.7目视无划痕、无严重水迹、斑痕等附着物。

2  硅片腐蚀清洗

2.1硅片表面没有新的缺陷产生，干燥，无水迹。

2.2 硅片表面颜色均匀一致，无明显划斑、碱迹。

2.3 绒面“金字塔”大小一致性较好，分布较均匀，局部“抛光”面积≤3mm2；

2.4 硅片腐蚀厚度≤20μm，总减重量0.70±0.05g。

3   扩散

3.1 R□：控制指标

3.3 硅片无裂纹。

4  周边等离子刻蚀

4.1硅片周边光亮，腐蚀彻底；

4.2腐蚀的硅片边缘亮环宽度 ≤1.0mm。

4.3 表面无划伤，无损伤。

4.4刻蚀后测试硅片四周，垂直于光照面方向硅片上的导电类型。

5   去除磷硅玻璃－ HF腐蚀

5.1 片盒从腐蚀液中缓缓提出，表面不沾水为准。

5.2 表面颜色均匀一致，清洁，无划伤，干燥，无水斑、水迹。

6  PECVD

6.1 氮化硅膜均匀一致，颜色呈深蓝色，

6.2 表面清洁，Si3N4膜覆盖全部表面。

6.3 硅片无破裂。

7  印刷烧结

7.1背电极〔银铝浆或银浆〕印刷

7.1.1银铝浆背电极，图形位置偏差不超过0.5mm。

7.1.2 图形完整，边缘清晰，浆料连续，无间断现象，表面清洁〔具体要求参考《电池片等级标准》〕

7.2 背场〔铝浆〕印刷

7.2.1图形对铝浆图形要对中，套准，铝浆图形对硅片边缘的距离为1.5mm。

72.2铝浆图形完整，表面清洁

7.3上电极〔银浆〕印刷

7.3.1 图形对中，图形到边缘的距离为1.5 mm，允许误差0.2 mm。

7.3.2 栅线清晰，主栅线连续无间断，细栅线断栅现象不大于2处，断栅宽度不大于2 mm。〔具体要求参考《电池片等级标准》〕

7.3.3表面清洁，不应有其它污渍。

7.4烧结

7.4.1电池表面无严重污渍。

7.4.2电池弯曲高度不超过2mm。〔具体要求参考《订货合同》〕

7.4.3电池无裂纹。

二  检验方法

1．检验员以“专检或巡检”的方式，在各工序间进行督察和抽检；

2．凡通过检验员检验的在制品，检验员在《工序质量检验记录》表相应栏中盖章或签字确认；

3．发现特殊异常质量情况时，检验员应及时与工序长、工艺员取得联系，并报告生产技术部、品控部主管，必要时，可直接报告公司领导。下载本文