美国AS电子及半导体工业用纯水水质要求_动视_懂你更懂生活

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美国AS电子及半导体工业用纯水水质要求

2025-09-28 00:50:30 责编:小OO

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美国ASTM D5127电子及半导体工业用纯水水质要求

项目	TypeE-1	TypeE-1．1	TypeE-1.2	TyPeE-2	TyPeE-3	TyPeE-4
线宽(μm)	1.0-0.5	0.5-0.25	0.25-0.18	5-1	>5	-
电阻率	18.2	18.2	18.2	17.5	12	0.5
热源(EU/ml)	0.03	0.03	0.03	0.25	-	-
TOC(μg／L)	5	2	1	50	300	1000
溶解氧DO(μg／L)	1	1	1	-	-	-
蒸发残渣(μg／L)	1	0.5	0.1	-	-	-
微粒(μm)(SEM检测)
0.1—0.2	1000	1000	200
0.2—0.5	500	500	l00	3000
0.5—1.0	50	50	1		10000
10	-	-	-			100000
微粒(μm)(在线检测)
0.05—0.1	500	500	100
0.1—0.2	300	300	50
0.2—0.3	50	50	20
0.3—0.5	20	20	10
＞0.5	4	4	1
细菌
100ml Sample	1	1	1

1L Sample	1	1	0.1	10	10000	100000
硅(μm)
总硅	3	0.5	0.5	10	50	1000
溶解硅	1	0.1	0.05
离子(μg／L)
NH4	0.1	0.1	0.05	-	-
Br	0.1	0.05	0.02	-	-
Cl	0.l	0.05	0.02	1	10	1000
F	0.1	0.05	0.03	-	-	-
N03	0.1	0.05	0.02	1	5	500
N02	0.l	0.05	0.02	-	-	-
P04	0.1	0.05	0.02	1	5	500
S04	0.1	0.05	0.02	1	5	500
Al	0.05	0.02	0.005	-	-	-
Ba	0.05	0.02	0.001	-	-	-
B	0.05	0.02	0.005	-	-	-
Ca	0.05	0.02	0.002	-	-	-
Cr	0.05	0.02	0.002	-	-	-
Cu	0.05	0.02	0.002	1	2	500
Fe	0.05	0.02	0.002	-	-	-

Pb

	0.05	0.02	0.005	-	-	-
Li	0.05	0.02	0.003	-	-	-
Mg	0.05	0.02	0.002	-	-	-
Mn	0.05	0.02	0.002	-	-	-
K	0.05	0.02	0.002	1	2	500
K	0.05	0.02	0.005	2	5	500
Na	0.05	0.02	0.005	1	5	1000
Sr	0.05	0.02	0.00l	-	-	-
zi	0.05	0.02	0.002	1	5	500

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