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多晶硅片-国家级标准
2025-09-29 22:25:46 责编:小OO
文档
200×-××-××实施

200×-××-××发布

发布

中华人民共和国国家技术监督检验检疫总局 

中国国家标准化管理委员会

太阳能级多晶硅块

(讨论稿)

GB/T ××××—200×

中华人民共和国国家标准

ICS 29.045

H 80

太阳能级多晶硅块

11 范围

本标准规定了太阳能级多晶硅块的产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。

本标准适用于利用定向熔铸技术所生产切割而形成的,用于切割制备多晶硅片的多晶硅块。

12 规范性引用文件

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。

GB 191              包装储运图示标志

GB/T 1550      非本征半导体材料导电类型测试方法

GB/T 1552      硅、锗单晶电阻率测定 直排四探针法

GB/T 1553      硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法

GB/T 1557      硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

GB/T 1558      测定硅单晶体中代位碳含量的红外吸收方法

GB/T 4061      硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

GB/T 6616      半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定 非接触涡流法

GB/T 142     半导体材料术语

SEMI MF13-0704    Ⅲ-Ⅴ号混杂物中对单晶体硅的光致发光分析的测试方法

13 术语定义、符号及缩略语

GB/T 142确立的术语和定义适用于本标准。

微晶:产品表面小范围内密集型的晶格排布。

14 分类

14.1 外形尺寸分类

产品按外形尺寸(长×宽)分为125mm×125mm和156mm×156mm或由供需双方商定规格。

15 要求

15.1 外观要求

太阳能级多晶硅块外观要求无可视裂纹、崩边、崩块、缺口;

15.2 性能

太阳能级多晶硅块性能要求具体见表1,在表1中未列出的规格要求由供需双方商定;

表1

项目要求
电阻率,Ω·cm

1.0∽3.0

导电类型P型

少数载流子寿命(裸测最小值),μs

≥2

氧浓度,atoms/cm3

≤1×1018

碳浓度,atoms/cm3

≤5×1017

基体金属杂质,ppmw

Fe、Cr、Ni、Cu、Zn

TMI(Total metal impurities)总金属杂质含量:≤1

硼浓度≤0.30

磷浓度≤0.40

15.3 结构及表面质量

5.3.1 太阳能级多晶硅块中不允许出现氧化夹层;

5.3.2 太阳能级多晶硅块IR检测结果不可出现阴影、杂质、裂纹、微晶;

5.3.3 太阳能级多晶硅块表面粗糙度Ra≤0.2μm;

5.3.4 太阳能级多晶硅块几何尺寸偏差不超过±0.5mm。

16 试验方法

16.1 太阳能级多晶硅块的外观检验用目测检查;  

16.2 太阳能级多晶硅块电阻率检验按GB/T 1552或GB/T 6616进行; 

16.3 太阳能级多晶硅块导电类型检验按GB/T 1550进行; 

16.4 太阳能级多晶硅块少数载流子寿命检验按GB/T 1553进行;

16.5 太阳能级多晶硅块的氧含量检验按GB/T 1557进行;

16.6 太阳能级多晶硅块的碳含量检验按GB/T 1558进行;

16.7 太阳能级多晶硅块基体金属杂质按照SEMI MF13-0704测试;

16.8 太阳能级多晶硅块断面夹层检验按GB/T 4061测试;

16.9 太阳能级多晶硅块IR检测方法:将太阳能级多晶硅块至于850μm红外光源下,通过摄像机观察成像效果。

6.10 太阳能级多晶硅块表面粗糙度用表面粗糙度测试仪测得,测试点在所试表面随机获得。测试要求测量硅块的相邻两侧面,两端面不用测量。

6.11 太阳能级多晶硅块几何尺寸采用通用量具测得,但最小精度应不小于0.02mm

17 检验规则

17.1 检验分类

检验分:出厂检验和型式试验。

17.2 出厂检验

每批产品应经供方技术(质量)监督部门进行检验,保证产品质量符合本标准的规定,并附有产品质量合格的技术文件,方可出厂;

出厂检验项目包括4.1、5.1、5.2中的电阻率、导电类型及少数载流子寿命和5.3.2、5.3.3、5.3.4项。

17.3 判定规则

每批产品的检验项目均采用全数检验,或由供需双方协商解决。

合格质量水平(AQL)规定为Ac=0,Re=1,或由供需双方协商解决。

17.4 型式试验

有下列情况之一,应进行型式试验:

A)新产品或老产品转厂生产的试制鉴定;

B)正式生产后,如结构、材料、工艺有较大改变可能影响产品性能时;

C)正常生产时,每隔一年进行一次;

D)产品长期停产后,又恢复生产时;

E)出厂检验结果与上次型式试验有较大差异时;

F)国家质量监督机构提出进行型式检验的要求时。

型式试验项目包括本标准所列全部要求的内容;

型式试验样品应从出厂检验合格的产品中随机抽取,试样为3PCS;

在型式试验中,如有1项不符合本标准要求时,则应从该批产品中,抽取加倍数量进行不合格项目试验,如仍不符合该项的要求时,则该项型式试验判为不合格,该批产品做不合格论。

18 标志、包装、运输和贮存

18.1 包装、标志

产品封装于相应规格木箱内,四周用不小于20mm的珍珠棉填充紧密,以防止损坏产品;

所有出厂产品包装箱应采取防破碎、防损伤、防脏污措施。箱外应标有“小心轻放”、“防酸”、“防碱”和“防潮”警示标志且应符合GB 191的要求;

产品包装箱在显眼处应标注如下内容:

a) 客户名称;

b) 数量;

c) 产品规格;

d)产品重量;

e) 产品执行标准号;

f) 出厂编号;

g) 制造厂商;

h) 厂址、电话。

产品发运时,应附有成品出库单,应包含以下内容:

a) 客户名称;

b) 产品规格;

c) 数量;

d) 件数;

e)总重量

f) 出厂编号;

g) 出厂日期;

h) 发货单位、发货人;

i) 制造厂商。

每批产品应附有产品检验报告, 应包含以下内容:

a) 客户名称;

b) 产品规格;

c) 产品编号;

d) 检验日期;

e) 各项检验结果及检验部门印章。

18.2 运输、贮存

产品在运输过程中应轻装轻卸,严禁抛掷,并采取防震、防潮措施;

产品应贮存在洁净、干燥环境中。下载本文

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