附1中国国家电子级超纯水规格 GB/T11446.1-1997
| 电阻率 25℃ MΩ*cm | 硅 ≤μg/L | 铜 ≤μg/L | 锌 ≤μg/L | 镍 ≤μg/L | 钠 ≤μg/L | 钾 ≤μg/L | 氯 ≤μg/L | >1μm颗粒 ≤个/ml | 细菌 ≤个/ml | 根 ≤g/L | 磷酸根 ≤μg/L | 硫酸根 ≤μg/L | TOC ≤μg/L | |
| EW-I | ≥18* | 2 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | 0.5 | 0.5 | 1 | 0.1 | 0.01 | 1 | 1 | 1 | 20 |
| EW-II | ≥15 ** | 10 | 0 | 0 | 1 | 2 | 2 | 1 | 5 | 0.1 | 1 | 1 | 1 | 100 |
| 注*（95％时间不低于17），**（95％ 时间不低于13） | ||||
| 中国国家电子级超纯水GB/TII446.1－1997标准 指标\\级别 | EW－Ⅰ | EW－Ⅱ | EW－Ⅲ | EW-Ⅳ |
| 电阻率 MΩ，cm(25℃) | 18以上，（95％时间）不低于17 | 15，（95％时间）不低于13 | 12.0 | 0.5 |
| 全硅，最大值,μg/L | 2 | 10 | 50 | 1000 |
| ＞1μm微粒数，最大值，个/mL | 0.1 | 5 | 10 | 500 |
| 细菌个数，最大值，个/mL | 0.01 | 0.1 | 10 | 100 |
| 铜，最大值，μg/L | 0.2 | 1 | 2 | 500 |
| 锌，最大值，μg/L | 0.2 | 1 | 5 | 500 |
| 镍，最大值，μg/L | 0.1 | 1 | 2 | 500 |
| 钠，最大值，μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 1000 |
| 钾，最大值，μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 500 |
| 氯，最大值，μg/L | 1 | 1 | 10 | 1000 |
| 根，最大值，μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
| 磷酸根，最大值，μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
| 硫酸根，最大值，μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
| 总有机酸，最大值，μg/L | 20 | 100 | 200 | 1000 |
